ASML揭密1.两亿美金一台的EUV光刻技术：十万零部件、派送時间2年

西班牙ASML（阿斯麦）是全世界唯一的EUV光刻技术生产商，中芯的7nm工艺尽管早已科研开发进行，但现阶段受制于人的最重要一环便是很难买到EUV。

在全新的新闻媒体交流学习中，ASML科研开发高级副总裁Tony Yen公布了一些EUV光刻技术鲜为人知的关键点。

EUV即极紫外线刻，它是依靠13.5nm光波长极紫外线在硅晶圆上蚀刻加工数十亿经营规模的缩微构造。

依照Yen的叫法，当今ASML的EUV光刻技术每台市场价1.两亿美金(折合7.8亿人民币)上下，由超出十万个高精密零部件构成。

Yen笑着表明，买大家的EUV光刻技术并不是今日提交订单，二天内送到，一般必须2年的時间才可以派送交货，装运是必须高达40个海运集装箱。

据了解，全世界第一台EUV光刻技术2010年在三星安装，第二台2011年入驻tsmc。谈起颠覆性创新，ASML觉得最少还能持续十年。