日前在首尔的一场半导体材料交流学习中,ASML韩销售经理MyoungKuy Lee表露,企业将逐渐供货透光度超90%的塑料薄膜,以提高EUV光刻技术的高效率。
据了解,这款塑料薄膜是ASML与Teradyne(泰瑞达)协同产品研发,日本三井化学代工生产,早已根据了400瓦检测。
ASML 2016年初次开发设计出光罩塑料薄膜,那时候的透光度是78%。接着在2018年,塑料薄膜透光度提高到80%,上年提高到85%。
塑料薄膜用以维护光罩免遭环境污染,价格2.六万美金上下(折合RMB16.78万余元)。
此外,韩国企业FST、S&S Tech也都是在焦虑不安开发设计EUV光刻技术需要的塑料薄膜,FST先前预估上半年度逐渐供货90%透光度的碳碳复合材料塑料薄膜。
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