三星耗资430万美元静脉注射光罩防护膜：为EUV光刻技术服务保障

三星一方面在积极主动向唯一的EUV光刻技术生产商ASML争得订单信息，此外一方面也在增资扩股为EUV全产业链静脉注射。

据报道，三星电子周二耗资430万美元（折合2.五亿）买进152亿港元韩FST企业的个股，变成其第三控股股东，持仓占有率6.9%。

FST是一家生产制造掩膜/光罩防护膜和冷却塔的生产商，防护膜简易而言便是确保光罩不会受到尘土危害，冷却塔则是操纵半导体设备全过程中的溫度。

FST已经研发EUV光罩防护膜，设计方案总体目标是全规格，碳碳复合材料栽培基质，30nm限度，透光度90%。

现阶段，并未有一家企业规模性批量生产EUV光罩防护膜FST取得成功后，将对产业链及其本身收益拥有积极主动危害。