用时超四年迎黎明 国内光刻技术再迎重大突破

继中芯续单ASML光刻技术后，国内半导体材料光刻技术行业再迎喜报。

周一（8日）盘后，上海新阳公示称，经多方积极主动商议、运行，ASML-1400光刻技术机器设备于今天已进到合作者北方地区集成电路芯片技术革新管理中心（北京市）有限责任公司场所，事后将开展安裝调节等有关工作中。企业购置的ASML干式光刻技术机器设备成功交货，对加速193nm ArF干式光刻技术商品项目进度有积极主动危害。

值得一提的是，天眼查表明，合作者北方地区集成电路芯片技术革新管理中心（北京市）有限责任公司控股股东为芯链融创中国集成电路芯片产业发展规划（北京市）有限责任公司，后面一种由北京市凯世通半导体材料有限责任公司以内的二十六个中国半导体材料高品质企业一同注资建立。中芯、亦庄则占有率各为25%并列入第二控股股东。

项目立项四年屡屡挫败 国产替代的浪潮下终现黎明

针对上海新阳自身而言，ASML干式光刻技术机器设备成功交货意义非凡。公布材料表明，早在2016年底，上海新阳即已项目立项产品研发193纳米技术干式光刻技术，但在接着的产品研发全过程中进度屡屡挫败。

2018年3月，上海新阳和上海市逸纳一同注资开设芯刻微，从业193nm干式高档光刻技术商品的科学研究与产业发展工作中，但彼此于第二年5月停止协作；同一年12月，企业以自筹资金项目投资江苏省博砚自动化科技有限责任公司，拥有博砚电子科技公司10%的股份，后面一种关键从业平板显示器产业链用有关光刻技术商品的开发设计、生产制造。

2019年10月，上海新阳运行合肥市第二生产制造产业基地新项目的基本建设。合肥市产业基地占地面积115亩，总投资约六亿元。依照布署，一期方案项目投资三亿元，占地面积50亩，投产后产生年产量15000吨超纯化工材料商品的生产量。依据企业在定向增发公示中常说，本次定向增发即日起一部分资产项目投资于该新项目。

进到2020年，上海新阳在该新项目上的资金投入愈发激进派。8月，公司新闻拟订增融资不超15亿人民币，在其中7.32亿人民币用以集成电路芯片生产制造用高档光刻技术产品研发、产业发展新项目。关键开发设计ArF干式加工工艺应用的光刻技术和朝向三维 NAND阶梯离子注入的KrF厚膜光刻技术商品，争取于2023年前完成所述商品的产业发展。

11月，企业再度公示拟将特殊目标股票发行募资总金额不超过14.五亿元，在其中8.15亿人民币再投所述新项目。若新项目按照计划进展开展，预估KrF厚膜光刻技术2021年逐渐完成小量市场销售，2022年可完成批量生产，预估ArF（干试）光刻技术新项目在2022年可完成小量市场销售，2023年逐渐批量生产，预估当初各类商品销售收益累计可以达到近两亿元。

光大证券投资分析师柴沁虎上年3月16日汇报曾强调，上海新阳一直着眼于开展半导体材料用光刻技术的产业发展，尽管正中间踏过一段弯道，但入股博砚电子器件后，能够合理效仿博砚电子器件的成功案例。另外，企业和博砚电子器件也是有一定水平的产业链协作，觉得企业是中国最有可能首先在集成电路芯片生产制造用高档光刻技术获得实际性提升的公司。

阿斯麦主要设备“放开” 国内高档光刻技术不断提升

上年至今，国产替代的浪潮风靡半导体业，而光刻技术做为半导体材料光刻技术的关键原材料，决策了半导体材料图型加工工艺的高精密水平和合格率，变成了在其中最受注目的阶段之一。

2020年12月17日，南大光电公示称，子公司宁波市南大光电自主研发的193nm ArF光刻技术商品取得成功根据顾客的应用验证，标示中国第一支根据商品认证的国内ArF光刻技术从此问世，代表着长期性被海外垄断性的ArF光刻技术总算迈开了国内生产制造的的第一步。

据统计，按不一样制造，半导体材料用光刻技术可分成EUV光刻技术、ArF光刻技术、KrF光刻技术及G线、i线光刻技术，前三者均为高档光刻技术商品，产业信息网数据信息表明，截止2019年中国在g线/i线光刻技术仅做到20%产出率，而KrF光刻技术产出率不够5%，ArF光刻技术则彻底依靠進口。

高档光刻技术国产替代艰辛的身后，是其产品研发全过程中对高端光刻机的比较严重依靠。因为在产品研发光刻技术的全过程中必须有相匹配光刻技术的适用，经营规模批量生产后必须在光刻技术上持续调节。而优秀光刻机价格价格昂贵，中国半导体器件企业承受不住，因此高档光刻技术基础被日本国及欧美国家垄断性。

就在当月3日，中芯公示称，与荷兰光刻机生产商阿斯麦签署选购单，额度达12.02亿美金。另据《科创板日报》1日独家代理获知，为中芯出示高制造（14nm及之上）加工工艺一部分商品所需机器设备的美国机器设备商，已获美许可证书。

对于此事，华金证券胡慧精英团队3月7日汇报觉得，中芯14nm及之上完善制造限令“放开”，意味着着在我国内地晶圆代工水龙头在完善制造上的发展前途进一步明亮，预估将来将有大量美国机器设备经销商得到供货批准。

中金证券彭虎精英团队同一天汇报也强调，半导体行业和原材料是高端装备制造发展趋势的基本，融合中芯潜在性完善制造获得美国机器设备许可证书，提议关心上下游机器设备及原料的机遇。

另据国金证券胡剑精英团队2020年11月18日汇报，在半导体材料供应链管理安全性慢慢获得高度重视的情况下，国内光刻技术产品研发和批量生产或将加速，中国生产商陆续方案在被美日垄断性的半导体材料光刻技术行业扩张资金投入，并在高档ArF光刻技术行业产品研发和批量生产不断提升。